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溶液成分對(duì)鑫恒力蝕刻機(jī)腐蝕速度的影響

1FeCl3濃度對(duì)蝕刻速度的影響:FeCl3蝕刻液中隨FeCl3濃度的增高,蝕刻速度加快。當(dāng)所含FeCl3超過某一濃度時(shí),由于蝕刻機(jī)溶液黏度增加,腐蝕速度反而有所下降。對(duì)于采用抗蝕印料或抗蝕干膜的銅零件,濃度可控制在35°波美度左右;采用液體光致蝕劑(如骨膠、聚乙烯醇等)的銅零件。濃度控制在42°波美度左右。通常情況下,蝕刻機(jī)藥箱內(nèi)藥水濃度在350g/L-600g/L為宜。

2)鹽酸的添加量對(duì)鑫恒力蝕刻機(jī)的腐蝕速度影響:在腐蝕機(jī)中加入鹽酸,一則可以抑制FeCl3CuCl2的水解;二則可提高蝕刻速度。特別是當(dāng)蝕刻液中銅含量大道37.4g/L后,鹽酸的作用更加明顯。但這應(yīng)根據(jù)不同的抗蝕層材料選擇合適的酸度,如果抗蝕層選擇骨膠、明膠、聚乙烯醇等光致抗蝕層,則不能用太高的酸度,否則,抗蝕層易于被破壞。對(duì)于感光樹脂抗蝕劑及絲網(wǎng)印刷抗蝕層,則可以選擇較高的酸度。

3)溫度對(duì)蝕刻速度的影響:在FeCl3蝕刻工藝中,隨溫度的升高,蝕刻機(jī)中工件的腐蝕速度明顯加快。比如在50℃時(shí),全新蝕刻液對(duì)銅的蝕刻速度可達(dá)到10μm/min。但在實(shí)際生產(chǎn)中,都是采用常溫蝕刻方法。FeCl3對(duì)銅的蝕刻是一個(gè)放熱反應(yīng),隨著蝕刻的進(jìn)行,蝕刻機(jī)中藥水溫度會(huì)逐漸升高,蝕刻速度加快。隨著FeCl3的消耗,蝕刻速度也會(huì)下降。同時(shí)這一升溫過程也比較緩慢,所以在整個(gè)蝕刻過程中蝕刻速度變化不大。

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